“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測系統(tǒng)”項目日前順利通過現(xiàn)場驗收，將推動微納電子傳感器的研究。

　　4月7至8日，中國科學(xué)院條件保障與財務(wù)局組織專家對中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所承擔(dān)的中科院科研裝備研制項目“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測系統(tǒng)”進行了現(xiàn)場驗收。

北京富瑞恒創(chuàng)科技有限公司，成立于2009年8月，成立至今已經(jīng)和國內(nèi)多家教育機構(gòu)，全國各地多家企業(yè)有過長期的合作關(guān)系，專注于新型材料試驗機的研究，長期聘請清華大學(xué)精密儀器系的專家為技術(shù)顧問，并成立新型材料檢測儀器研發(fā)中心。
    北京富瑞恒創(chuàng)科技有限公司是集專業(yè)設(shè)計、開發(fā)、生產(chǎn)與銷售于一體的高新技術(shù)股份制企業(yè)，專注于新型材料試驗機的研制、材料檢測技術(shù)的提高及材料試驗方法的創(chuàng)新，是國內(nèi)的材料試驗檢測儀器的生產(chǎn)企業(yè)。

富瑞恒創(chuàng)儀器研發(fā)部擁有行業(yè)內(nèi)zui的、的研發(fā)力量及技術(shù)團隊，，并成立新型材料檢測儀器研發(fā)中心，是對推動國內(nèi)材料檢測技術(shù)的提高和試驗方法創(chuàng)新的重要技術(shù)保證力量。富瑞恒創(chuàng)同時還與中科院自動化研究所、國防科技大學(xué)等全國數(shù)十所科研院所開展緊密合作，并為中國國fang軍工企業(yè)及航天科技企業(yè)和重點實驗室定制生產(chǎn)了大量標(biāo)準(zhǔn)和非標(biāo)準(zhǔn)的測試儀器。

　　該項目針對微納電子傳感器件對高靈敏度、高時間/空間分辨率和綜合性的在線檢測需求，創(chuàng)新性地研制了原位實時檢測力學(xué)、化學(xué)、生物和光學(xué)等單一或復(fù)合量的高靈敏度多功能傳感檢測系統(tǒng)樣機。該系統(tǒng)主要是以自主研制的高精度新型微納電子傳感器陣列和MEMS電容式微納傳感探針為核心，以化/生/光/力微納米傳感器表征測試平臺、集成化分布式I/O模塊的電路和相關(guān)自動化控制軟件系統(tǒng)融合組成。該系統(tǒng)的研制成功地通過“化/生/光/力-納米尺度-信息”的學(xué)科交叉融合，在材料與器件的納米尺度效應(yīng)、界面效應(yīng)等特性表征和微納制造等微納傳感器基礎(chǔ)研究方面取得突破，為微納傳感器件的研究提供理論、設(shè)計、表征和制造奠定基礎(chǔ)，并形成了自主知識產(chǎn)權(quán)的檢測技術(shù)，將成為推動微納電子傳感器研究的重要科研裝備。驗收專家組聽取了項目工作匯報、財務(wù)報告、用戶報告及測試報告，現(xiàn)場查驗了研制裝備的運行情況，審閱了相關(guān)文件檔案及財務(wù)賬目。通過質(zhì)詢討論，專家組一致認為該項目較好地完成了研制任務(wù)，主要技術(shù)指標(biāo)達到或優(yōu)于實施方案規(guī)定指標(biāo)。并在此研制設(shè)備的支撐下取得了優(yōu)異的科研成果，在《*材料》等期刊發(fā)表了8篇SCI論文，申請了12項，相關(guān)獲得許可轉(zhuǎn)讓。專家組一致同意“多功能高靈敏度微納電子傳感檢測系統(tǒng)”研制項目通過驗收。